Technológia ultrazvukového postrekovania na ukladanie vákuovej pary
Ultrazvukový atomizácia striekania sa používa na integráciu do vákuovej komory. Prostredníctvom experimentov sa preukázalo, že jedinečný ultrazvukový atomizácia rozprašovacieho systému sa môže integrovať do vákuovej zapečatenej platformy, vhodnej pre aplikácie, ako je depozícia polymérnych pary (PVD) a depozícia kovových organických chemickej chemickej pary (MOCVD). Charakteristická atomizácia s nízkou rýchlosťou generovaná systémom rozprašovania ultrazvukového atomizácie môže produkovať oblak pár s tesnou distribúciou kvapôčok a veľkosťou kvapôčkovej frekvencie. Vzhľadom na to, že ultrazvukové atomizujúce dýzy fungujú prevodom vysokofrekvenčných zvukových vĺn na mechanické vibrácie, tekutina v kontakte s povrchom dýzy je atomizovaná bez pridávania vzduchu alebo plynu, takže integrita vákuovej komory nie je počas procesu rozprašovania oslabená.
Technológia ultrazvukového generátora integrovaná do systému rozprašovania ultrazvuku poskytuje potrebnú elektrickú energiu na atomizáciu a je vybavená pokročilou funkciou vyváženia zaťaženia, ktorá sa môže automaticky prispôsobiť, aby sa prispôsobila rôznym vákuovým podmienkam, čím sa udržiava najstabilnejšie charakteristiky postrekovania počas procesu ukladania vákuu.
Ultrazvukový systém rozprašovania atomizácie je vhodný pre vysokoteplotné vákuové prostredie a má funkciu chladiacej kapacity a monitorovania teploty, aby sa zabezpečila primeraná tepelná ochrana.
Výhody aplikácie vákuovej komory:
- Elektronické zariadenia určené na vyváženie záťaže
- Ochrana a monitorovanie vysokej teploty
- Unikátna vákuová stav
- Atomizácia sa vytvára v neprítomnosti vzduchu/plynu, udržiava vákuovú integritu
